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真空熱處理爐的檢漏

  真空熱處理爐的真空系統(tǒng)檢漏是生產(chǎn)中經(jīng)常出現(xiàn)的一個大問題.關(guān)于檢漏技術(shù)有許多資料介紹.本文重點對真空系統(tǒng)在使用中出現(xiàn)故障時提出了處理方法,就是根據(jù)不同時間、條件進行理論分析,可以判斷出漏氣可能產(chǎn)生的部位,找到漏孔.由現(xiàn)場經(jīng)驗得知:用分析法找漏,比用檢漏儀檢漏即降低成本,又遷就了一般小廠不具備檢漏儀器的不足.而且此法找漏有時又快又準確.

  對于真空熱處理爐的檢漏,包括爐體和真空系統(tǒng)兩部分。當爐體與真空系統(tǒng)裝配完了之后,無論其密封如何可靠,一般來說總是有些漏氣存在的。為此采用漏氣率大小作為熱處理爐的一個重要的性能指標。漏氣率是指單位時間內(nèi)通過治漏孔進人爐中的氣體流量,其單位是 Pa·L/s(或 Torr·L/s)。 目前國內(nèi)外對真空熱處理爐的漏氣率均采用壓力增長率(升壓率)來表示。一般定為0.7Pa/h(或 5微米汞柱/時)。只要小于或等于此數(shù)值,爐子的漏氣率為合格。我們希望漏氣率越小越好。因為它能夠影響爐室的極限真空度,同時也會使被處理工件表面氧化,降低光亮度。

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